該產(chǎn)品主要用來測試襯底為化合物（碳化硅（SiC）或藍(lán)寶石（Sapphire））的高電子遷移率晶體管（HEMT）結(jié)構(gòu)，測試參數(shù)為外延層的參雜濃度和電阻率（在遷移率為已知的條件下），同時還可以測試載流子濃度分布，平帶電壓（在該結(jié)構(gòu)表層為介電層的條件下）以及界面態(tài)密度。采用特殊的汞探針探頭，具有**的電極面積，從而得到更精準(zhǔn)、可靠的數(shù)據(jù)。

1、CVmap 92A main body（原材料一）
名稱	CVmap 92A mainbody設(shè)備主機(jī)
尺寸	50.8cm(Depth)、55.9cm(Width)、33cm(height)
重量	56kg
功率	95W
2、Computer（原材料二）
名稱	CV main computer軟件運(yùn)行電腦
尺寸	43.2cm(depth),17.8cm(width),45.72cm(height)
重量	9.1kg
性能	≥I5處理器，HardDisk 1T, Memory 8G
功率	20W
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2、Monitor（原材料三）
名稱	Monitor 顯示器
尺寸	5.08cm(depth),43.2cm(width),30.5cm(height)
重量	3.7kg
功率	13W
3、E4980A源表（原材料四）
名稱	E4980A信號源表
尺寸	37.5cm(Width)x39cm(Depth)x11(Height)cm
重量	5.3kg
功率	43W
4、CVmap 92A Embeded Controller（原材料四）
名稱	Embeded computer嵌入式控制器
尺寸	18cm(Width)x43.2 (Depth)x18cm(Height)
重量	3.2kg
功率	28W

序號	項目	參數(shù)	備注
1	測量尺寸	20x20mm~200mm晶片.
2	效率	30s/點(diǎn)
3	能耗	200W
4	性能 等	探頭點(diǎn)面積：大約0.02平方厘米 探頭接觸面積的重復(fù)性：優(yōu)于1%
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