日本HORIBA氣體質(zhì)量流量控制器工作原理

質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器, 分流器通道和流量放大電路等部件組成；在質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和 PID 控制電路就構(gòu)成了質(zhì)量流量控制器。

流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計(jì)（Thermal Profile Flowmeter）。采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度和壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。

分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生層流，控制器輸出的流量檢測電壓與流過通道的質(zhì)量流量成正比，滿量程(F.S.)流量檢測輸出電壓為+5V。質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))的流量控制范圍是(2～100)%F.S.（量程比為 50:1）,流量分辨率是 0.1%F.S.。

控制操作一般在 MT-52 系列流量顯示儀上進(jìn)行。當(dāng) INT/EXT 開關(guān)撥到“INT（內(nèi)控）”時，由流量顯示儀上的設(shè)定電位器控制流量。當(dāng)撥到“EXT（外控）” 時，由用戶提供的外部 0V～+5V 電壓控制流量。

在 MT-52 的顯示面板上設(shè)置有閥控按鍵，當(dāng)置于“Run（閥控）”時，則按設(shè)定電位器的數(shù)值自動控制流量，當(dāng)置“Close（關(guān)閉）”位時，閥門關(guān)閉；當(dāng)置“Open（清洗）”位時，閥門開到*大，以便氣路清洗，或作為流量計(jì)使用。在做流量計(jì)使用時，流量檢測電壓的輸出值*大可能達(dá)到+10V 以上，不過要注意，當(dāng)流量超過滿量程（+5V）后，流量檢測電壓與通過的實(shí)際流量不成線性對應(yīng)關(guān)系。清洗時，流量顯示不準(zhǔn)確，還可能出現(xiàn)流量增大顯示反而減小的異?，F(xiàn)象，但不會對流量計(jì)本身造成損傷。（參考流量顯示儀的使用說明書）