WNS-08DS系列8寸晶圓金相觀察顯微鏡

8寸金相觀察顯微鏡WNS-08DS廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)休-芯片-晶圓-LCD-LED等行業(yè))Z軸電脈高精度設(shè)計(jì)，*小移動(dòng)精度可達(dá)0.1~1um，保證高倍率穩(wěn)定對(duì)焦，8寸三層精密移動(dòng)平臺(tái)，XY同軸低手位粗微調(diào)設(shè)計(jì)(行程:205x205mm) ，Z軸電脈高精度移動(dòng)設(shè)計(jì)(行程:50mm),標(biāo)配WeiNiSi明暗場(chǎng)金相鏡頭(雙目:10x.鏡 :5X.10X.20X.50x，Z軸可按需訂制輔助對(duì)焦功能(價(jià)格另議)
1.產(chǎn)品介紹
◆WNS-08DS金相觀察顯微鏡專為8寸晶圓觀察檢測(cè)量身訂做，本機(jī)Z軸對(duì)焦采用手脈電控上下，**使用專業(yè)訂制的高精準(zhǔn)細(xì)分脈沖金相測(cè)量電機(jī)，通過(guò)設(shè)置多種脈沖細(xì)分量和機(jī)構(gòu)上的精準(zhǔn)調(diào)校，可以實(shí)現(xiàn)快上、快下及中慢檔調(diào)速來(lái)控制Z軸光學(xué)鏡頭上下移動(dòng),并且Z軸可以選配光柵數(shù)據(jù)和輔助對(duì)焦測(cè)高模塊，大大提高設(shè)備的綜合使用性能。
設(shè)備通過(guò)讓電機(jī)脈沖量的*小化設(shè)置跟傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的*優(yōu)化調(diào)校，可以保證Z軸上下移動(dòng)時(shí)，精細(xì)到0.1~1UM每格（手脈刻度），而有效地杜絕了了目前市場(chǎng)上主流金相顯微鏡在高倍率使用下的通病不再發(fā)生（高倍下無(wú)法定準(zhǔn)對(duì)焦面，使用手動(dòng)Z軸調(diào)焦齒輪打滑等等現(xiàn)象?。?br> ◆WNS-08DS金相觀察顯微鏡采用12寸三層精密移動(dòng)平臺(tái)，XY同軸低手位粗微調(diào)設(shè)計(jì)，搭配WeiNiSi明暗場(chǎng)金相光學(xué)鏡頭和630萬(wàn)高清數(shù)字相機(jī)，高倍率成像清晰穩(wěn)定。
◆WNS-08DS金相觀察顯微鏡在晶圓制造、芯片、半導(dǎo)體等行業(yè)廣泛應(yīng)用。

2.產(chǎn)品特點(diǎn)
● Z軸通過(guò)電動(dòng)手脈進(jìn)行精準(zhǔn)控制（對(duì)焦精度可達(dá)0.0001~0.001mm）
● Z軸可選配增加光柵數(shù)據(jù)和輔助對(duì)焦測(cè)高功能
● 08寸三層精密移動(dòng)平臺(tái)（XY同軸低手位粗微調(diào)顯微鏡專用）
● 視場(chǎng)寬闊，可得清晰無(wú)閃爍影像
● 明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡
● 明暗場(chǎng)反射照明器
● 利用可變孔徑光闌進(jìn)行無(wú)衍射觀察測(cè)量
● 高位目鏡觀察+高清數(shù)字相機(jī)成像觀察
3.技術(shù)參數(shù)
3.1主體規(guī)格
◆X坐標(biāo)行程: 205（mm）
◆Y坐標(biāo)行程： 305（mm）
◆Z坐標(biāo)行程: 50（mm）
◆操控方式：XY手動(dòng)同軸低手位粗微調(diào)可切換（帶快速移動(dòng)）
       Z軸手脈電動(dòng)操控（快上-快下-中檔-慢檔切換）
◆反射照明光源：
明暗場(chǎng)反射照明器，帶明暗場(chǎng)照明切換裝置；
可變視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽。
3.2目視系統(tǒng)
◆物鏡放大倍數(shù)：五孔旋轉(zhuǎn)器，標(biāo)配5X、10X、20X、50X明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡
◆目鏡放大倍數(shù)：10X( 單、雙目同)
◆總放大倍數(shù)： 50X-500X（包括畸變?cè)趦?nèi)的）
◆物鏡放大倍數(shù)誤差：放大率誤差≤0.08%
3.3影像系統(tǒng)
◆標(biāo)配CCD相機(jī)0.5X鏡筒
◆CCD：630萬(wàn)高清數(shù)字相機(jī)（自帶軟件可顯示影像視窗及二維尺寸量測(cè)）
◆綜合影像*大放大倍數(shù)：1000X以上